[发明专利]一种真空镀膜机用基片翻转装置有效
| 申请号： | 201210120266.0 | 申请日： | 2012-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN102644058A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 陈艳;闫海;陈巍;路文一 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 范晓毅 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 机用基片 翻转 装置 | ||
1.一种真空镀膜机用基片翻转装置，其特征在于：包括基片工架(2)、角度止挡块(3)、指针(4)、拨叉(5)、窗口压盖(6)、波纹管(8)、波纹管接口(9)和拨叉杆(10)，其中基片工架(2)两端的轴(12、13)分别穿过镀膜机转盘(1)上的两个支架(11、14)固定在镀膜机转盘(1)上，角度止挡块(3)穿过基片工架(2)一端的轴(12)固定在其中一个支架(14)上，指针(4)安装在基片工架(2)一端的轴(12)上，拨叉(5)安装在拨叉杆(10)的末端，拨叉(5)上开设两对容纳指针(4)的凹槽，选择其中一对凹槽实现基片工架(2)中基片与镀膜机中蒸发源之间角度的更改，选择另外一对凹槽实现基片工架(2)中基片镀膜晶面的翻转，窗口压盖(6)安装在镀膜机腔室门上，波纹管(8)一端焊接在窗口压盖(6)上，另一端与拨叉杆(10)通过波纹管接口(9)实现动密封装配。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用基片翻转装置，其特征在于：所述窗口压盖(6)上设置有窗口玻璃(7)，用于观察拨叉(5)对基片工架(2)的操作情况。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用基片翻转装置，其特征在于：所述角度止挡块(3)上对称设置有两个挡块(15)，其中挡块(15)的边缘与角度止挡块(3)上X轴的夹角为30-60°。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用基片翻转装置，其特征在于：所述拨叉(5)上开设的两对凹槽分别为一对U型槽与一对L型槽，其中指针(4)插入一对U型槽中实现基片与镀膜机中蒸发源之间角度的更改，指针(4)插入一对L型槽中实现基片镀膜晶面的翻转。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用基片翻转装置，其特征在于：所述基片工架(2)为框架结构，轴(12、13)对称设置在框架结构两端，通过在框架中设置不同数量的隔板(16)，以实现多个基片的同时镀膜。
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