[发明专利]一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜有效
| 申请号： | 201210107914.9 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102621822A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;赵泽宇;王彦钦;冯沁;王长涛;罗云飞;陶兴;黄成;杨磊磊;姚纳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜，该透镜包括：可以传输光的平面多层金属-介质膜、可以缩小成像的曲面多层膜、金属掩模结构、粘连剂层及基底。本发明所述透镜简单，可行性高，只需要常规的涂胶、光刻和工艺镀膜，就可以得到物面为曲面、像面为平面的缩小倍率超分辨成像透镜，所述透镜能够传输高频信息、分辨半波长以下图形，具有广阔的应用前景；同时，本发明所述透镜拓展了现有超分辨缩小成像技术的应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 曲面 平面 分辨 缩小 成像 光刻 透镜 | ||
【主权项】：
一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜，其特征在于：该透镜从下至上依次包括以下组成部分：一可透光的平面多层膜结构，用于将曲面多层膜结构缩小所成的像，等比地投到平整的像面上；一可缩小成像的曲面多层膜结构，用于实现图形的缩小倍率超分辨成像；一金属掩膜结构，作为缩小成像光刻的掩模图形；一粘连剂层，用于将平面多层膜结构、曲面多层膜结构、金属掩模结构固定在基底材料上；一基底材料，用于附着和支撑该缩小倍率超分辨成像透镜结构。
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