[发明专利]干涉仪模块有效
| 申请号： | 201210091968.0 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102735163B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | G·德博尔;T·A·乌姆斯;N·弗奇尔;G·C·A·库维利尔斯 | 申请（专利权）人： | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 陈芳 |
| 地址： | 荷兰代*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种适用于测量参考反射镜和测量反射镜之间的位移的方向的差分干涉仪模块。在实施例中，差分干涉仪模块适用于将三种参考光束向着第一反射镜发射并将三种测量光束向着第二反射镜发射，以便确定所述第一反射镜和所述第二反射镜之间的位移。在优选实施例中，该同一模块也适用于测量绕两个垂直轴的相对旋转。本发明还涉及一种用于测量这样的位移和旋转的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 模块 | ||
【主权项】：
一种光刻系统，包括：激光器单元(31)，用于产生相干的激光束(b)；真空壳体(2)；位于所述真空壳体(2)内的框架(4)；位于所述真空壳体(2)内的光学柱(36)安装到所述框架(4)，以将图案投射到目标上，其中所述光学柱(36)设置有第二反射镜(81)；位于所述真空壳体(2)内的目标载体，用于使所述目标相对于所述光学柱(36)移动，其中所述目标载体设置有第一反射镜(21)；差分干涉仪模块(60)，用于接收所述相干的激光束(b)，所述干涉仪模块(60)被布置为在所述第一反射镜(21)上发射测量光束(Mb)以及在所述第二反射镜(81)上发射参考光束(Rb)，所述干涉仪模块(60)被构造为相对于所述第一反射镜(21)和第二反射镜(81)之间的相对位置提供一个或多个输出信号，所述系统还包括：控制器(95)，用于基于所述一个或多个输出信号来控制所述目标载体相对于所述光学柱(36)的移动，所述控制器(95)耦接到所述干涉仪模块(60)以接收所述一个或多个输出信号，所述控制器被包含在所述系统中且位于所述真空壳体(2)外部，以及光纤(92)；其中所述激光器单元(31)被包含在所述系统中且位于所述真空壳体(2)外部，所述干涉仪模块(60)安装到所述真空壳体(2)内的框架(4)上并且包括输入，该输入经由光纤(92)耦接到所述激光器单元(31)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于迈普尔平版印刷IP有限公司，未经迈普尔平版印刷IP有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210091968.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
