[发明专利]一种用于晶圆传送位置校正的装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于晶圆传送位置校正的装置及方法，在加热器维护保养的过程中，进行若干次的晶圆传送测试时，将一个由特氟龙或其他防滑材料制成的校正装置套设在加热器上，使得晶圆在密闭腔体内被机械手臂传送到该校正装置上以后，不会发生进一步滑动，所以在技术人员打开腔体后，仍然能够清楚地检测到晶圆相对于校正装置上定位线的偏差位置。由于校正装置上定位线所限定的区域，与加热器顶面上划定的晶圆正确传送的位置（例如是整个加热器的顶面）相对应，因此，通过本发明所述装置及方法校正后，在实际的热处理时，机械手臂能够将晶圆正确地传送到加热器上的对应位置，确保晶圆热处理时的效果。

主权项

一种用于晶圆传送位置校正的装置，在对加热器（20）进行维护保养的过程中，用于对机械手臂传送晶圆（30）时发生的偏差位置进行确定，其特征在于，该校正装置（10）是套设在加热器（20）顶面上的一个圆环状的盖子，所述校正装置（10）具有的一个环形顶面，与位于其下方的加热器（20）的顶面同圆心布置；至少使所述校正装置（10）中的环形顶面用防滑材料制成，并且，所述环形顶面的内径L1小于晶圆（30）的直径，使得所述晶圆（30）被传送到该校正装置（10）的环形顶面上以后不会进一步滑动。