[发明专利]基板贴合装置以及基板贴合方法

摘要

提供一种基板贴合装置以及基板贴合方法，能够以简易且廉价的结构来可靠地检测基板的掉落。在真空腔(1)内具备支撑部(3)，支撑一方的基板(P2)；以及保持部(2)，在与基板(P2)相对置的位置保持另一方的基板(P1)，该基板贴合装置还具备压力检测部(4)，检测真空腔(1)内的压力；以及判定部(150)，根据在真空腔(1)内的减压时通过压力检测部(4)检测的压力的变化来判定基板(P1)从保持部(2)的脱离导致的异常的有无。

主权项

一种基板贴合装置，在真空室内将至少一对基板经由附着在双方或者一方的基板上的粘接剂来进行贴合，该基板贴合装置的特征在于，在所述真空室内具备：支撑部，支撑一方的基板；保持部，在与被所述支撑部支撑的基板相对置的位置保持另一方的基板；以及驱动部，通过驱动所述支撑部以及所述保持部中的至少一方来贴合一对基板，该基板贴合装置具备：压力检测部，检测所述真空室内的压力；判定部，根据在所述真空室内的减压时通过所述压力检测部检测的压力的变化来判定所述另一方的基板从所述保持部脱离导致的异常的有无；基准信息存储部，存储基准信息，该基准信息包含在正常时或者异常时基于按照时间顺序而继续表示的压力的集合的数据，成为所述压力的变化是正常还是异常的判定的基准；以及比较部，比较通过所述压力检测部检测的压力的变化与所述基准信息，所述判定部设定为根据所述比较部的比较结果来判定异常的有无。