[发明专利]制作太阳能电池的方法

摘要

本发明提供一种制作太阳能电池的方法，包括利用掺杂胶于半导体基底的第一表面形成选择性射极，并藉由掺杂胶的屏障使选择性射极具有非粗糙化表面，以及利用粗糙化阻障层使半导体基底的第二表面具有非粗糙化表面。

主权项

一种制作太阳能电池的方法，包括：提供一半导体基底，其中所述半导体基底包括一第一表面与一第二表面，且该第一表面具有一选择性射极区域；于所述半导体基底的选择性射极区域内的第一表面上形成一掺杂胶，且所述掺杂胶包括一掺杂剂、一耐高温材料及一有机溶剂；于所述半导体基底的第二表面形成一粗糙化阻障层；对所述半导体基底进行一粗糙化处理，以使位于选择性射极区域外未被掺杂胶覆盖的半导体基底的第一表面形成一粗糙化表面，并使半导体基底的第二表面于粗糙化处理之后具有一平坦表面；进行一扩散制程，以使位于选择性射极区域内的掺杂胶的掺杂剂向下方扩散至第一表面内而形成具有重掺杂的一选择性射极，以及于该扩散制程中通入一掺杂气体以于位于选择性射极区域外的第一表面形成一轻掺杂区，其中所述选择性射极与所述轻掺杂区具有一第一掺杂类型；移除所述掺杂胶与所述粗糙化阻障层；于所述半导体基底的第一表面上形成一抗反射层；于所述选择性射极区域内的选择性射极上形成一第一电极；于所述半导体基底的第二表面形成一掺杂区，其中该掺杂区具有一第二掺杂类型，且所述第一掺杂类型的极性不同于所述第二掺杂类型的极性；以及于所述半导体基底的第二表面上形成一第二电极。