[发明专利]一种用于声表面波器件的氧化锌压电薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201210062507.0 | 申请日： | 2012-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102611405A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 陈希明;张倩;阴聚乾;朱宇清;李福龙;郭燕;孙连婕 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300384 天津市西青区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种用于声表面波器件的氧化锌压电薄膜，为在单晶硅基片衬底上制备的氧化锌/铝/类金刚石复合膜结构，其制备方法是：将表面清洗干净的单晶硅基片放入脉冲激光系统的真空生长腔中，以石墨、铝为靶材，沉积类金刚石/铝薄膜；然后以氧化锌为靶材，采用射频磁控溅射工艺，在Al膜表面沉积氧化锌薄膜。本发明的优点是：制备工艺简单易行，成本低廉；所制备的类金刚石薄膜表面光滑平整，可大大降低声波在传输过程中的损耗，沉积的Al薄膜大大提高了氧化锌薄膜的机电耦合系数，氧化锌薄膜结晶度高，c-轴取向高，该ZnO/Al/DLC复合薄膜结构可用于制作高性能，高频和大功率器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 表面波 器件 氧化锌 压电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于声表面波器件的氧化锌压电薄膜，其特征在于：为在单晶硅基片衬底上制备的氧化锌/铝/类金刚石复合膜结构。
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