[发明专利]质量评估设备、方法和使计算机执行质量评估方法的程序有效
申请号: | 201210048523.4 | 申请日: | 2012-02-27 |
公开(公告)号: | CN102709207A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 植野研;新垣隆生;榊原静 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈松涛;夏青 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 根据一个实施例,一种质量评估设备包括:存储模块,所述存储模块存储指定信息,所述指定信息用于指定包括检查目标和非检查目标的评估目标中要进行抽样检查的所述检查目标,由所述检查目标的抽样检查获得的特征值以及基于所述特征值确定检查目标质量的准则信息;阈值计算器,利用所述准则信息从所述检查目标的特征值计算指示所述检查目标质量的阈值;以及分组模块,将所述评估目标分成组,使得所述组具有将所述阈值用作变量的概率分布。 | ||
搜索关键词: | 质量 评估 设备 方法 计算机 执行 程序 | ||
【主权项】:
一种质量评估设备,包括:存储模块,所述存储模块被配置成存储指定信息,所述指定信息用于指定包括检查目标和非检查目标的评估目标中要进行抽样检查的所述检查目标,由所述检查目标的所述抽样检查获得的特征值以及基于所述特征值确定所述检查目标的质量的准则信息;阈值计算器,所述阈值计算器被配置成利用所述准则信息从所述检查目标的特征值计算指示所述检查目标的质量的阈值;以及分组模块,所述分组模块被配置成将所述评估目标分成组,使得所述组具有将所述阈值用作变量的概率分布。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造