[发明专利]微电子器件除尘装置

摘要

本发明提供了一种微电子器件除尘装置，包括离子发生器，离子风枪，除尘管件，吸尘器。除尘管件由吹气管壁和吸尘管腔构成，吹气管壁中有多个通透的直径为1mm-3mm的吹气孔，吸尘管腔的截面呈长方形或椭圆形或扁平型，截面积为50mm2-500mm2。离子发生器通过离子风枪连接除尘管件的吹气管壁，吸尘器连接吸尘管腔。离子发生器产生含有正负离子的离子风通过离子风枪射进吹气孔中，由吹气孔喷出清除芯片表面的微尘。清除后的微尘被吸尘器通过吸尘管腔吸走。离子风能够有效防止及清除芯片表面产生的静电和灰尘，本发明可配套用于规模化生产的集成电路芯片装片机中。

主权项

一种微电子器件除尘装置，包括除尘管件（9）、吸尘器（5），其特征在于：还含有离子发生器（7）、离子风枪（8），除尘管件（9）由吹气管壁（2）和吸尘管腔（3）构成，吹气管壁（2）中有多个通透的吹气孔（1），吸尘管腔（3）的截面呈长方形或椭圆形或扁平型；离子发生器（7）通过离子风枪（8）连接除尘管件（9）的吹气管壁（2），吸尘器（5）连接吸尘管腔（3）；离子发生器（7）产生含有正离子、负离子或者正负离子的离子风，通过离子风枪（8）射进吹气孔（1）中，由吹气孔（1）喷出清除芯片表面的微尘，清除后的微尘被吸尘器（5）通过吸尘管腔（3）吸走。