[发明专利]成膜装置无效
| 申请号： | 201210035752.2 | 申请日： | 2012-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN102644051A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 金子裕是;林辉幸;小野裕司 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/12;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 从蒸镀头喷射的成膜材料，在被处理基板和处理室或者其他的蒸镀头之间反冲，成膜材料附着于与应被蒸镀的位置不同的部位，或者作为杂质混入来自各成膜材料喷出部的蒸气混合的相邻的膜中。本发明是一种成膜装置(1)，具有：收纳被处理基板(被处理基板G)的处理室(11)；和向该被处理基板喷出成膜材料的蒸气的成膜材料喷出部(13)，该成膜装置(1)，在处理室(11)的内部具有捕捉部(16、16)，其捕捉从成膜材料喷出部(13)喷出的，被被处理基板(被处理基板G)反冲的成膜材料。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，具有：收纳被处理基板的处理室；和将成膜材料的蒸气向该被处理基板喷出的成膜材料喷出部，该成膜装置的特征在于，包括：在所述处理室的内部具有捕捉部，该捕捉部对从所述成膜材料喷出部喷出并且在所述被处理基板反冲的成膜材料进行捕捉。
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