[发明专利]CIS器件电气故障分析测试方法及测试系统有效
| 申请号： | 201210024592.1 | 申请日： | 2012-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN103245844A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 潘建峰;徐明洁;张晓东;潘国华 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01J1/10 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种CIS器件电气故障分析测试方法及测试系统，其中，所述方法包括：将CIS器件置于测试机台，此时，测试机台向CIS器件提供光照；获取CIS器件中每个像素的亮度；根据CIS器件中每个像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素；输出CIS器件中不合格像素的信息。通过直接输出CIS器件中不合格像素的信息，避免了现有技术中输出一包含合格像素与不合格像素信息的黑白照片，需要通过人力捕捉CIS器件中的不合格像素的问题。从而提高了CIS器件电气故障分析的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | cis 器件 电气 故障 分析 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种CIS器件电气故障分析测试方法，其特征在于，包括：将CIS器件置于测试机台，此时，测试机台向CIS器件提供光照；获取CIS器件中每个像素的亮度；根据CIS器件中每个像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素；输出CIS器件中不合格像素的信息。
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