[发明专利]磁铁单元、磁铁阵列、磁浮平面电机及应用该磁浮平面电机的光刻装置有效
| 申请号： | 201210013313.1 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103208867A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 吴立伟;黄威;陈庆生;方洁 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H02K1/06 | 分类号： | H02K1/06;H02K33/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种十字型磁铁单元，包括第一磁铁及围绕第一磁铁的第二磁铁单元，所述第一磁铁是N极磁铁或S极磁铁，所述第一磁铁的磁化方向沿Z轴方向，所述第二磁铁单元包括四组结构相同的磁铁组合，所述四组磁铁组合分别位于沿X轴方向和沿Y轴方向，所述磁铁组合的磁化方向指向N极磁铁或者远离S极磁铁，所述每组磁铁组合由至少两个棱柱磁铁、或棱锥磁铁、或棱台磁铁组成。本发明还公开一种磁铁阵列、磁浮平面电机及应用该磁浮平面电机的光刻装置。 | ||
| 搜索关键词： | 磁铁 单元 阵列 平面 电机 应用 光刻 装置 | ||
【主权项】：
一种十字型磁铁单元，包括第一磁铁及围绕第一磁铁的第二磁铁单元，其特征在于，所述第一磁铁是N极磁铁或S极磁铁，所述第一磁铁的磁化方向沿Z轴方向，所述第二磁铁单元包括四组结构相同的磁铁组合，所述四组磁铁组合分别位于沿X轴方向和沿Y轴方向，所述磁铁组合的磁化方向指向N极磁铁或者远离S极磁铁，所述每组磁铁组合由至少两个棱柱磁铁、或棱锥磁铁、或棱台磁铁组成。
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