[发明专利]用于制造三维立体掩模板的芯模及三维立体掩模板有效
| 申请号： | 201210010766.9 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205699A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;潘世弥;孙倩 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C25D1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造三维立体掩模板的芯模及三维立体掩模板，所述芯模由不锈铁制造而成；三维立体掩模板，由上述芯模制作而成，包括图形开口区域和三维立体结构，所述三维立体结构由凹陷区域和凸起区域构成，所述凹陷区域为比掩模板板面低的凹陷结构，所述凸起区域比掩模板板面高的凸起结构。本发明提供的用于制造三维立体掩模板的芯模及三维立体掩模板，芯模由不锈铁制造而成，有利于芯模与镀层的剥离，且不容易起皮脱落、变形，可以保证在蚀刻时凹陷部位与平面部位的夹角控制在70°~90°，生产成本低，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 三维立体 模板 | ||
【主权项】：
一种用于制造三维立体掩模板的芯模，其特征在于，所述芯模有不锈铁制造而成。
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