[发明专利]加速度传感器有效
| 申请号： | 201210007073.4 | 申请日： | 2012-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN102707090A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 张睿;王琳琳 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声科技(新加坡)有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种加速度传感器，其包括位于中央可扭转的折叠弹簧、位于折叠弹簧两侧的检测单元，所述检测单元包括第一基底和第二基底、位于第一基底和第二基底上方并分别与折叠弹簧两侧相连的第一质量块和第二质量块、分别自第一质量块和第二质量块向远离折叠弹簧的一侧延伸而出的第一动电极和第二动电极、分别与第一动电极和第二动电极构成梳齿结构形成电容效应的第一定电极和第二定电极、及支撑固定第一定电极和第二定电极的第一固定端和第二固定端，所述第一质量块和第二质量块上靠近折叠弹簧的位置处分别设有第一梁式弹簧和第二梁式弹簧。与相关技术本比，本发明的加速度传感器测量精度高，灵敏度性能更优。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种加速度传感器，其特征在于：所述加速度传感器包括位于中央可扭转的折叠弹簧、位于折叠弹簧两侧的检测单元，所述检测单元包括第一基底和第二基底、位于第一基底和第二基底上方并分别与折叠弹簧两侧相连的第一质量块和第二质量块、分别自第一质量块和第二质量块向远离折叠弹簧的一侧延伸而出的第一动电极和第二动电极、分别与第一动电极和第二动电极构成梳齿结构形成电容效应的第一定电极和第二定电极、及支撑固定第一定电极和第二定电极的第一固定端和第二固定端，所述第一质量块和第二质量块上靠近折叠弹簧的位置处分别设有第一梁式弹簧和第二梁式弹簧。
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