[发明专利]加速度传感器

权利要求书

1.一种加速度传感器，其特征在于：所述加速度传感器包括位于中央可扭转的折叠弹簧、位于折叠弹簧两侧的检测单元，所述检测单元包括第一基底和第二基底、位于第一基底和第二基底上方并分别与折叠弹簧两侧相连的第一质量块和第二质量块、分别自第一质量块和第二质量块向远离折叠弹簧的一侧延伸而出的第一动电极和第二动电极、分别与第一动电极和第二动电极构成梳齿结构形成电容效应的第一定电极和第二定电极、及支撑固定第一定电极和第二定电极的第一固定端和第二固定端，所述第一质量块和第二质量块上靠近折叠弹簧的位置处分别设有第一梁式弹簧和第二梁式弹簧。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：所述第一质量块和第二质量块的大小、形状均相等。

3.根据权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于：第一梁式弹簧和第二梁式弹簧关于折叠弹簧对称。

4.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于：两个动电极的长度相同，且两个定电极的长度相同。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的加速度传感器，其特征在于：所述第一梁式弹簧和第二梁式弹簧的两端分别设有夹持质量块的固定块。