[发明专利]一种纳米线围栅器件散热特性的测试结构和测试方法有效
| 申请号： | 201210006026.8 | 申请日： | 2012-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN102569262A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 黄如;林增明;王润声;邹积彬;孙帅 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G01N21/65;B82Y35/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种纳米线围栅器件散热特性的测试结构和测试方法。所述测试结构，包括源(1)、漏(2)、栅(3)，源(1)和漏(2)由一根悬空纳米线(5)相连；漏(2)端包含加热结构；所述结构采用的是围栅结构，即栅(3)将纳米线(5)包围起来；栅(3)的一端与一个接线板(4)相连。制作N个所述测试结构，并给每个测试结构加热，计算出每个结构的散热比，进而得出小尺寸器件时的散热的主要途径。本发明实现了对纳米尺度器件散热特性进行测试，对纳米尺度器件散热结构的设计和材料的选取给出了直接的指导，并且为今后的热阻网络和器件结构的设计带来了参考和帮助。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 线围栅 器件 散热 特性 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米线围栅器件散热特性的测试结构，所述测试结构包括源(1)、漏(2)、栅(3)，其特征是，源(1)和漏(2)由一根悬空纳米线(5)相连；漏(2)端包含加热结构；所述结构采用的是围栅结构，即栅(3)将纳米线(5)包围起来；栅(3)的一端与一个接线板(4)相连。
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