[发明专利]气浮块等高测试装置

摘要

本发明公开了一种气浮块等高测试装置，用于光刻机中H型大行程高精度工件台运动所需的气浮块安装前的等高测试。本发明的气浮块等高测试装置包括水平布置的平台以及装在该平台下面的且高度可调的地脚，并在平台上面设置有平行规、方尺、止推机构、标准推柱、压接机构及推力机构。该装置可测出每块球关节气浮块的相对高度值，使运动模块两端的多块、多组球关节气浮块气浮面能达到0.004mm共面度的要求。

主权项

一种气浮块等高测试装置，其特征在于它包括水平布置的平台(4)以及装在该平台下面的且高度可调的地脚(2)，所述平台(4)上面设置有：纵向布置的平行规(1)；位于所述平行规(1)侧部的测量基准块(9)；水平布置在所述平行规(1)右侧的方尺(3)，该方尺(3)与平行规(1)紧贴在一起且相互垂直而构成一精度角尺；用于保证所述精度角尺的垂直度不发生改变的两组止推机构(5)，其中一组紧贴平行规(1)左侧布置，另一组紧贴方尺(3)后侧布置；以及横向布置在所述平行规(1)右侧的并可左右移动的标准推柱(6)，该标准推柱的后侧与方尺(3)侧部紧贴在一起，该标准推柱的前侧布置有用于将其紧压在方尺(3)侧部的压紧机构(8)，该标准推柱的右侧布置有可推动该标准推柱向左移动的推力机构(7)。