[发明专利]气浮块等高测试装置有效
申请号: | 201210005086.8 | 申请日: | 2012-01-09 |
公开(公告)号: | CN103197504A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 李莉;赵正龙 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G01B5/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气浮块 测试 装置 | ||
1.一种气浮块等高测试装置,其特征在于它包括水平布置的平台(4)以及装在该平台下面的且高度可调的地脚(2),所述平台(4)上面设置有:
纵向布置的平行规(1);
位于所述平行规(1)侧部的测量基准块(9);
水平布置在所述平行规(1)右侧的方尺(3),该方尺(3)与平行规(1)紧贴在一起且相互垂直而构成一精度角尺;
用于保证所述精度角尺的垂直度不发生改变的两组止推机构(5),其中一组紧贴平行规(1)左侧布置,另一组紧贴方尺(3)后侧布置;
以及横向布置在所述平行规(1)右侧的并可左右移动的标准推柱(6),该标准推柱的后侧与方尺(3)侧部紧贴在一起,该标准推柱的前侧布置有用于将其紧压在方尺(3)侧部的压紧机构(8),该标准推柱的右侧布置有可推动该标准推柱向左移动的推力机构(7)。
2.根据权利要求1所述的气浮块等高测试装置,其特征在于:所述的每组止推机构(5)均包括并列固定在平台(1)上的至少两块止推固定板(51),每块止推固定板上均装有一块位置可调的止推块(52)。
3.根据权利要求2所述的气浮块等高测试装置,其特征在于:所述止推固定板(51)由内六角螺钉固定平台(1)上,所述止推块(52)由内六角角螺钉安装在止推固定板(51)上。
4.根据权利要求1所述的气浮块等高测试装置,其特征在于:所述压紧机构(8)包括并列固定在平台(4)上的至少两个垫块(81),每个垫块上均装有一滚轮柱塞(82)。
5.根据权利要求4所述的气浮块等高测试装置,其特征在于:所述垫块(81)由内六角螺钉固定在平台(4)上。
6.根据权利要求1所述的气浮块等高测试装置,其特征在于:所述推力机构(7)包括固定在平台(4)上的调节座(71)以及与该调节座螺纹连接的紧定螺钉(72)。
7.根据权利要求6所述的气浮块等高测试装置,其特征在于:所述的调节座(71)由内六角螺钉固定在平台(4)上。
8.根据权利要求6所述的气浮块等高测试装置,其特征在于:所述标准推柱(6)上固定有与所述紧定螺钉(72)相抵触的推柱连接板(10)。
9.根据权利要求8所述的气浮块等高测试装置,其特征在于:所述推柱连接板(10)与紧定螺钉(72)的抵触面为倾斜面。
10.根据权利要求9所述的气浮块等高测试装置,其特征在于:所述倾斜面的倾斜角度β为3~5度。
11.根据权利要求1至10中任一权利要求所述的气浮块等高测试装置,其特征在于:所述的平台(4)、平行规(1)以及方尺(3)均为大理石材质。
12.根据权利要求1至10中任一权利要求所述的气浮块等高测试装置,其特征在于:所述平行规(1)和方尺(3)均通过内六角螺钉安装在平台(4)上面。
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