[发明专利]一种测量镜面形补偿效果的方法

摘要

一种测量镜面形补偿效果的方法，应用该方法的光刻机包括照明系统、承载掩模的掩模台、投影物镜成像系统、承载基底的基底台、掩模台干涉仪系统、掩模对准系统，掩模台贴附有长条镜，干涉仪光束通过长条镜反射，控制掩模台运动，该方法包括上载具有测试标记的掩模，测试标记包括若干子标记，子标记排成一列；掩模台干涉仪系统控制掩模台沿若干子标记的排列方向运动，通过掩模对准系统进行对准测量，分别获得若干子标记的对准位置，测试标记与掩模对准系统的对准标记相匹配；根据对准位置获得面形残差测量值，判断在排列方向上的长条镜的镜面形补偿效果是否达到要求。该测量方法步骤简单，快速准确，可避免曝光分析引入不必要误差项。

主权项

一种测量镜面形补偿效果的方法，应用该方法的光刻机包括照明系统、承载掩模的掩模台、投影物镜成像系统、承载基底的基底台、掩模台干涉仪系统、掩模对准系统，所述掩模台贴附有长条镜，所述掩模台干涉仪系统的干涉仪光束通过所述长条镜反射，控制所述掩模台的运动，其特征在于，该方法包括：上载具有测试标记的所述掩模，所述测试标记包括若干子标记，所述子标记排成一列；所述掩模台干涉仪系统控制所述掩模台沿所述若干子标记的排列方向运动，通过所述掩模对准系统进行对准测量，分别获得所述若干子标记的对准位置，所述测试标记与所述掩模对准系统的对准标记相匹配；根据所述对准位置获得面形残差测量值，判断在所述排列方向上的所述长条镜的镜面形补偿效果是否达到要求。