[发明专利]多段转印模具的制造方法、多段转印模具以及以该方法、模具而得的零件

摘要

提供一种以电铸造而得的多段转印模具的制造方法、多段转印模具与以该方法、模具而得的零件。多段转印模具用以借由电铸造来形成多段零件，可使多段连接的连接步骤省力。本发明包括：于金属基板上形成零件形状的光致抗蚀剂图案，该零件形状的光致抗蚀剂图案具有所期望的纵横比、且侧壁具有所期望的角度α；于光致抗蚀剂图案上，形成用以获得连接柱的形状与厚度的连接柱形状的光致抗蚀剂图案，连接柱用以与上部层连接；借由电铸造，将形成有连接柱形状的光致抗蚀剂图案的光致抗蚀剂图案完全填埋、直至达到规定的厚度为止，以制造转印模具；使转印模具离开金属基板，以制造母料模具。

主权项

一种多段转印模具的制造方法，其特征在于包括：于金属基板上形成零件形状的光致抗蚀剂图案的步骤，该零件形状的光致抗蚀剂图案具有所期望的纵横比，且该零件形状的光致抗蚀剂图案的侧壁具有所期望的角度α；于上述光致抗蚀剂图案上，形成用以获得连接柱的形状与厚度的连接柱形状的光致抗蚀剂图案的步骤，上述连接柱用以与上部层连接；借由电铸造，将形成有上述连接柱形状的光致抗蚀剂图案的上述光致抗蚀剂图案完全填埋、直至达到规定的厚度为止，以制造转印模具的步骤；以及使上述转印模具离开上述金属基板，以制造母料模具的步骤。