[发明专利]硅块载体、具有该载体的载体装置和制造载体装置的方法有效
申请号: | 201180034643.2 | 申请日: | 2011-07-08 |
公开(公告)号: | CN103140336A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 迈克尔·艾瑟希;马克·舒斯特 | 申请(专利权)人: | 吉布尔·施密德有限责任公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D5/04 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 吴大建;刘华联 |
地址: | 德国弗罗*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 一种硅块(31)载体(13),设计作为载体装置(11)的一部分,与载体下部(25)一起固定连接到硅块(31),并且与其一起移动,来通过锯削、清洁或诸如此类来机械加工。载体(13)指向硅块(31)的底面具有多个通道(29),正如连接到此处的载体下部(25),在不同的情况中,通道(29)一个置于另一个之上。水从上面引入到载体(13)中的通道(29)中并且能够延伸通过位于锯削的硅块(31)的晶片之间的载体下部(25)中的锯削槽,用于清洁目的。 | ||
搜索关键词: | 载体 具有 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种硅块载体,所述载体设计作为载体装置的一部分固定地连接到硅块上并与所述硅块一起移动,用来通过锯削、清洁等来机加工,所述载体在其指向硅块的底面具有多个凹部、通道或刻痕。
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