[发明专利]在图案化结构中进行测量的方法和系统有效
| 申请号： | 201180020938.4 | 申请日： | 2011-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN102884396A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 博亚兹·布里尔;鲍里斯·舍曼 | 申请（专利权）人： | 诺威量测设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/24;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明提供了用于测量图案化结构的至少一个参数的方法和系统。该方法包括：提供输入数据，输入数据包括：测量数据，其包括：与该结构的不同地点的测量对应的多个测量信号；以及表示理论信号的数据，理论信号和测量信号之间的关系该表示结构的至少一个参数；提供基于表征结构的至少一个特性的至少一个所选全局参数的罚函数；以及在理论信号和测量信号之间进行拟合操作，所述拟合操作包括通过所述罚函数来确定理论信号和测量信号之间的优化关系，并使用优化关系来确定该结构的所述至少一个参数。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 结构 进行 测量 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于测量图案化结构的至少一个参数的方法，所述方法包括：提供输入数据，所述输入数据包括：测量数据，包括与所述结构的不同地点的测量对应的测量信号；表示理论信号的数据，所述理论信号和测量信号之间的关系表示所述结构的至少一个参数；提供基于表征所述结构的至少一个特性的至少一个所选全局参数的罚函数；以及在所述理论信号和测量信号之间执行拟合操作，所述拟合操作的所述执行包括使用所述罚函数来确定所述理论信号和测量信号之间的优化关系，并使用所述优化关系来确定所述结构的所述至少一个参数。
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