[发明专利]用于制造派瑞林覆层的方法和装置无效
申请号: | 201180012750.5 | 申请日: | 2011-03-08 |
公开(公告)号: | CN102791388A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 贝尔特·布劳内;克里斯蒂娜·基思;伊凡·加莱希奇 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | B05D7/24 | 分类号: | B05D7/24;H01L51/52;B05D3/14 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;田军锋 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 提出了一种用于在至少一个部件(1)的至少一个表面(11)上制造派瑞林覆层(2)的方法,其中提供具有派瑞林单体的第一气体(4),并且通过借助第一喷嘴(3)将具有所述派瑞林单体的所述第一气体(4)引导至所述至少一个表面(11)来将所述派瑞林单体沉积在所述部件(1)的所述至少一个表面(11)上,其中所述部件(1)设置在具有大气压的环境中。此外,提出了一种用于制造派瑞林覆层的装置。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 派瑞林 覆层 方法 装置 | ||
【主权项】:
用于在至少一个部件(1)的至少一个表面(11)上制造派瑞林覆层(2)的方法,在所述方法中‑提供具有派瑞林单体的第一气体(4),以及‑通过借助第一喷嘴(3)将具有所述派瑞林单体的所述第一气体(4)引导至所述至少一个表面(11)来将所述派瑞林单体沉积在所述部件(1)的所述至少一个表面(11)上,其中所述部件(1)设置在具有大气压的环境中。
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