[实用新型]一种设有阶梯调焦标记的调焦调平装置有效
| 申请号： | 201120400413.0 | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN202257032U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 刘广义;韩晓泉;王宇;周翊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种设有阶梯调焦标记的调焦调平装置，包含照明系统、成像系统和探测系统，其特征是：照明系统中的照明光栅和成像系统中的参考光栅均为具有高度差的阶梯状光栅。本实用新型采用阶梯式调焦标记，将光栅安装在阶梯棱镜或阶梯式镜架上，同时参考光栅也同样为阶梯式标记，由此，可以简化光学系统的设计和调试难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设有 阶梯 调焦 标记 平装 | ||
【主权项】：
一种设有阶梯调焦标记的调焦调平装置，包含照明系统、成像系统和探测系统，其特征是：照明系统中的照明光栅和成像系统中的参考光栅均为具有高度差的阶梯状光栅。
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