[发明专利]板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台无效
| 申请号： | 201110458766.0 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102556680A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 陈平;陈世强 | 申请（专利权）人： | 无锡市奥曼特科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G59/06 | 分类号： | B65G59/06;B65G47/74 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云 |
| 地址： | 214024 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其能带动硅片盒在垂直方向的自由升降，从而保证出片机构能够精确地抽取每一片硅片。其特征在于：其包括安装支架、竖向升降机构和水平输送机构，水平输送机构安装于升降底板，升降底板通过连接板安装于竖向升降机构，竖向升降机构通过安装支架固定于自动上下料系统的硅片盒运输线与出片机构之间。 | ||
| 搜索关键词： | 板式 pecvd 设备 上下 系统 硅片 进料 升降台 | ||
【主权项】：
板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其特征在于：其包括安装支架、竖向升降机构和水平输送机构，所述水平输送机构安装于升降底板，所述升降底板通过连接板安装于所述竖向升降机构，所述竖向升降机构通过所述安装支架固定于自动上下料系统的硅片盒运输线与出片机构之间。
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