[发明专利]板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台

权利要求书

1.板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其特征在于：其包括安装支架、竖向升降机构和水平输送机构，所述水平输送机构安装于升降底板，所述升降底板通过连接板安装于所述竖向升降机构，所述竖向升降机构通过所述安装支架固定于自动上下料系统的硅片盒运输线与出片机构之间。

2.根据权利要求1所述的板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其特征在于：所述竖向升降机构包括竖向直线模组和伺服电机，所述竖向直线模组固定于所述安装支架、并通过联轴器连接伺服电机。

3.根据权利要求2所述的板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其特征在于：所述升降底板通过连接板安装于所述竖向直线模组。

4.根据权利要求3所述的板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其特征在于：所述水平输送机包括电机，所述电机安装于升降底板底部，所述电机输出轴连接传动同步带轮，所述传动同步带轮通过传动同步带与输送同步带轮连接，所述输送同步带轮通过输送同步带与输送从动带轮连接。

5.根据权利要求4所述的板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其特征在于：所述连接板上端固定有压紧气动滑台，所述压紧气动滑台外侧端安装有压紧装置。

6.根据权利要求5所述的板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其特征在于：所述升降底板的硅片出片侧端安装有定位挡块。