[发明专利]液处理装置

摘要

本发明提供一种易于进行装置的组装、维护的液处理装置。用于对基板(W)进行液处理的多个液处理单元(2)彼此横向排列配置，用于将液处理单元(2)内的气氛气体排出的排气管(3)配置为在该多个液处理单元(2)的下侧并沿着由该液处理单元排列而成的列延伸，供液用的流通控制设备组(4)设在上述排气管(3)的下侧。供液用主配管(5)及排液用主配管(6)设为在该流通控制设备组(4)的下侧并沿着由多个液处理单元排列而成的列延伸，多条供液用分支管自上述供液用主配管(5)分支出来，经由上述供液用的流通控制设备(402)与各液处理单元连接，多条排液用分支管自上述排液用主配管(6)分支出来并与各液处理单元连接。

主权项

一种液处理装置，其特征在于，该液处理装置包括：多个液处理单元，其彼此横向排列配置，用于利用处理液对基板进行液处理；排气管，其配置为在该多个液处理单元的下侧沿着该由多个液处理单元排列而成的列延伸，用于将各液处理单元内的气氛气体排出；供液用的多个流通控制设备组，其分别设在上述排气管的下侧；一个以上的供液用主配管及一个以上的排液用主配管，其设为在该流通控制设备组的下侧沿着由多个液处理单元排列而成的列延伸，该供液用主配管用于将处理液供给到液处理单元中，该排液用主配管用于对来自液处理单元的液体进行排液；多条供液用分支管，其自上述供液用主配管针对多个液处理单元中的每个液处理单元分支出来，经由上述供液用的流通控制设备组与各液处理单元连接；多条排液用分支管，其自上述排液用主配管针对多个液处理单元中的每个液处理单元分支出来，并与各液处理单元连接。