[发明专利]砷化镓的处理设备及处理方法无效
| 申请号： | 201110456230.5 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103184339A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李琼芳;朱刘 | 申请（专利权）人： | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00;C22B30/04;C22B58/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨;刘春成 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种砷化镓的处理设备以及处理方法，处理设备包括：石英舟，用于盛放砷化镓废料；石英管，具有封闭端和开口端，盛放有砷化镓废料的石英舟，将置于封闭端；水平晶体生长炉，包括水平晶体生长炉加热区，水平晶体生长炉加热区包围石英管的封闭端且包围石英管内的石英舟；密封件，将石英管的开口端封闭；以及真空机组，经由密封件连通于石英管。本发明能直接分离出金属镓和单质砷，镓的回收率高，成本低廉，能简化工艺和设备，对环境无污染，且无有毒物质产生，有利于操作和人员安全。 | ||
| 搜索关键词： | 砷化镓 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种砷化镓的处理设备，其特征在于，包括：石英舟(2)，用于盛放砷化镓废料(1)；石英管(3)，具有封闭端(31)和开口端(33)，盛放有砷化镓废料(1)的石英舟(2)将置于封闭端(31)；水平晶体生长炉，包括水平晶体生长炉加热区(4)，水平晶体生长炉加热区(4)包围石英管(3)的封闭端(31)且包围石英管(3)内的石英舟(2)；密封件(5)，将石英管(3)的开口端(33)封闭；以及真空机组(6)，经由密封件(5)连通于石英管(3)。
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