[发明专利]单晶硅晶棒的取棒装置无效
申请号: | 201110455272.7 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN103184506A | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 汤仁兴 | 申请(专利权)人: | 汤仁兴 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐纫兰;曾丹 |
地址: | 214434 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种单晶硅晶棒的取棒装置,属于单晶硅的生产制造设备技术领域,其特征在于:它包括机架(1)和升降杆(3),所述机架(1)上固定有上下两块夹持板(2),所述升降杆(3)穿过两块夹持板(2)上的通孔,所述升降杆(3)底部连有油缸(4),升降杆(3)的中部固定有钳子(5)。这种单晶硅晶棒的取棒装置将机架放置于单晶炉旁的地面上后,用钳子夹住单晶硅晶棒的上部,松开两块夹持板,并用油缸推动升降杆上升,从而取出单晶硅晶棒。能方便地将单晶硅晶棒取出,并且可以保证操作人员的完全,同时取出晶棒时不会抖动,使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会碰到单晶炉,从而保证了单晶硅晶棒的质量。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅 装置 | ||
【主权项】:
一种单晶硅晶棒的取棒装置,其特征在于:它包括机架(1)和升降杆(3),所述机架(1)上固定有上下两块夹持板(2),所述升降杆(3)穿过两块夹持板(2)上的通孔,所述升降杆(3)底部连有油缸(4),升降杆(3)的中部固定有钳子(5)。
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