[发明专利]一种半导体微气压传感器测试系统

摘要

一种半导体微气压传感器测试系统，包括微机控制部分和真空获取部分。微机控制部分包括控制主机、程控电源、驱动电路、测试电路、A/D卡和D/A卡，主机控制程控电源，待测器件的响应信号通过测试电路和A/D卡传递到控制主机；真空获取部分包括真空腔室、泵组、质量流量控制器和真空计，真空腔室分别与质量流量控制器和泵组相连，气体从质量流量控制器流入，从泵组流出，质量流量控制器与D/A卡相连，通过模糊PID控制算法，维持真空腔室内气压平衡，真空计用作待测传感器标定基准。采用本发明可产生纯净气体的动态平衡真空环境，提高了测试过程的稳定性和抗干扰性，并为待测器件提供四种工作电路，便于半导体微气压传感器的标定与测试。

主权项

一种半导体微气压传感器测试系统，其特征在于系统包括微机控制部分和真空获取部分；微机控制部分包括控制主机、程控电源、驱动电路、测试电路、A/D卡和D/A卡；真空获取部分包括真空腔室、泵组、质量流量控制器和真空计；控制主机控制程控电源，将电压或电流加载到驱动电路，为待测器件提供四种工作模式，待测器件的响应信号通过测试电路和A/D卡传递到控制主机；真空获取部分包括真空腔室、泵组、质量流量控制器和真空计，真空腔室分别与质量流量控制器和泵组相连，气体从质量流量控制器流入，从泵组流出，质量流量控制器与D/A卡相连，通过模糊PID控制算法维持真空腔室内气压平衡，真空计是待测传感器标定基准；所述驱动电路包括选择开关、恒压电路、恒流电路、恒温电路和恒功率电路，利用程控电源提供的恒定电流及恒定电压，为半导体微气压传感器提供恒压、恒流、恒温和恒功率四种工作模式；所述测试电路包括通道选择开关、程控放大器、滤波器、单片机和电源管理模块；所述真空腔室为圆筒型，内置测试平台，腔室前门具有观察窗；所述泵组由机械泵和扩散泵组成，机械泵产生10Pa以上的低真空环境，扩散泵产生10Pa以下的高真空环境；测试系统采用模糊PID控制算法进行气压控制，在大偏差范围内利用模糊推理的方法进行控制，小偏差范围内转变成PID控制。