[发明专利]离子束稳定性的检测装置及检测方法

摘要

一种离子束稳定性的检测装置及检测方法，所述检测方法包括：提供晶圆；对晶圆注入之前或者之后，获得离子束的多个电流检测值，计算电流检测值对应的权重值；计算权重值的平均值和方差；获得平均值和方差值对应的第一偏差值，平均值和方差值对应的第二偏差值，第一偏差值小于第二偏差值；若平均值和方差值与对应的标准值的差的绝对值大于等于对应的第一偏差值，或平均值或方差值与对应的标准值的差的绝对值大于等于对应的第二偏差值，则离子束为非稳定性状态。本发明实施例的方法能准确的检测离子注入工艺的稳定性。

主权项

一种离子束稳定性的检测装置，其特征在于，包括：检测单元，用于检测离子束的电流值，所述检测单元包括位于同一直线的等间距的多个电流检测传感器，多个电流检测传感器对应多个电流检测值；比较单元，用于根据检测单元检测所得的多个电流检测值，比较电流检测值的大小，获得电流检测值的最大值；计算单元，用于根据检测单元检测所得的电流检测值和比较单元比较所得的电流检测值中的最大值，计算每个电流检测值对应的权重值，并根据权重值、电流检测传感器之间的相对距离，计算权重值的平均值和方差；判断单元，用于根据计算单元计算所得的平均值和/或方差与相应的标准值的大小，判断离子束是稳定状态或是非稳定状态，若离子束为非稳定状态，则给出报警信息。