[发明专利]一种单晶硅棒拉制工艺无效
| 申请号： | 201110400777.3 | 申请日： | 2011-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN102409397A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 高一凡;曾世铭;牛冬梅 | 申请（专利权）人： | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 332005 江西省九江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种单晶硅棒拉制工艺，包括在22”石英坩埚中首次投料110公斤硅原料；在单晶炉中熔化硅料后，第二次加入30公斤硅原料；调节温度和晶升参数，拉制出第一根棒，长度1000-1100mm，重80-90公斤，取出单晶硅棒；第三次加入25-30公斤硅料，熔化后拉制第二根单晶硅棒，长度为900-1000mm,重75-80公斤。从而解决了一炉两棒直拉单晶硅生产技术问题。具有成本低、生产效率高的特点，且操作简单、方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 拉制 工艺 | ||
【主权项】：
一种单晶硅棒拉制工艺，其特征在于，包括a)在22”石英坩埚中首次投料110公斤硅原料；b)在单晶炉中熔化硅料后，第二次加入30公斤硅原料；c)调节温度和晶升参数，拉制出第一根棒，长度1000‑1100mm，重80‑90公斤，取出单晶硅棒；d)第三次加入25‑30公斤硅料，熔化后拉制第二根单晶硅棒，长度为900‑1000mm,重75‑80公斤。
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