[发明专利]电阻测试结构及方法无效
| 申请号： | 201110395429.1 | 申请日： | 2011-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN103134986A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 魏泰;秦晓静;程玉华 | 申请（专利权）人： | 上海北京大学微电子研究院 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种通孔电阻的测试结构和方法，该测试结构包括至少两个子测试结构，所述子测试结构是一条通孔链，所述子测试结构包括有多个通孔及连接各通孔的互连线，所述通孔连通上下两层相邻的金属层，所述互连线由位于相邻两金属层上的互连线组成，且上下两层互连线在通孔连接处有重叠区域，所述各子测试结构有相同的长度，所述各子测试结构有不同的通孔数量，且所述各子测试结构中连接各个通孔的上层（下层）互连线总长度相等。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种通孔电阻测试结构，其特征在于，包括：多个子测试结构，所述子测试结构包括同一层的多个通孔和连接这些通孔的互连线，所述多个通孔和互连线构成一条通孔链结构；其中，各子测试结构中，所有通孔尺寸完全一样；各子测试结构中，互连线由上下两层互连线组成；各子测试结构中，互连线由多个连接通孔的短线组成；各子测试结构中，上下互连线在通孔位置有重叠区域。
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