[发明专利]工件载具及具备该工件载具之研磨装置无效
| 申请号： | 201110378986.2 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102528649A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 樫本美菜子 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 吕林红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能使玻璃基板制造之产率提升之工件载具。本发明例示之形态之工件载具，系对夹持在上下对向且相对旋转之上定盘与下定盘之间而被研磨之板状之玻璃基板W进行保持之玻璃研磨用之工件载具。该工件载具50，在用于收容玻璃基板W之工件保持孔之内壁面53具备防止玻璃基板W之侧面与内壁面53之抵接并同时将玻璃基板W保持在工件保持孔内之工件保持片55，该工件保持片55系藉由超高分子量聚乙烯形成。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 具备 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种工件载具，系保持对夹持在上下对向且相对旋转之上定盘与下定盘之间而被研磨之板状之玻璃基板进行保持之玻璃研磨用之工件载具，其特征在于：在收容该玻璃基板之工件保持孔之内壁面具备防止该玻璃基板之侧面与该内壁面之抵接并同时将该玻璃基板保持在该工件保持孔内之工件保持片；该工件保持片系藉由超高分子量聚乙烯形成。
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