[发明专利]正性光刻胶组成物及其制备方法无效
| 申请号： | 201110360724.3 | 申请日： | 2011-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102402119A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 杨洪;赵晓芳;郭玲香;林保平 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 汤志武 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可在碱性水溶液中显影的正性光刻胶组成物，该光刻胶组合物只包括a)光刻胶树脂b)光刻胶溶剂。该光刻胶树脂中含有邻硝基苄基结构，在紫外曝光时能发生化学变化，使得该光刻胶在显影液中的溶解度发生变化，即该光刻胶不用加入光致产酸剂、感光剂等额外添加剂就能够显影，得到具有较高分辨率的图像，满足其作为光致抗蚀剂的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组成 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种可在碱性水溶液中显影的正性光刻胶组成物，该光刻胶包括：a)光刻胶树脂，b)光刻胶溶剂，所述的光刻胶溶剂为能溶解光刻胶树脂的有机溶剂，且按重量计，光刻胶树脂占光刻胶溶剂的5％～30％。
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