[发明专利]一种微机械系统MEMS二维扫描镜扫描角度的测量装置无效
| 申请号： | 201110359866.8 | 申请日： | 2011-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102435152A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 孙剑;尤政;张弛;张潮;史浩天 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G02B26/10 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机械系统MEMS二维扫描镜扫描角度的测量装置，激光光束经微机械二维扫描镜扫描后，照射到半透半返镜上，半透半返镜光束透过照射到物体上，剩下的光被反射到PSD探测器上，PSD探测器探测到激光后输出两路模拟电压信号，PSD输出的两路电压信号经由A/D转换电路进行A/D转换后将数字信号输出。该发明结构电路简单、测量范围大、实时性强、精度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 mems 二维 扫描 角度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种微机械系统MEMS二维扫描镜扫描角度的测量装置，其特征在于：激光光束经微机械二维扫描镜(1)扫描后，照射到半透半返镜(2)上，半透半返镜(2)光束透过照射到物体上，剩下的光被反射到PSD探测器(3)上，PSD探测器(3)探测到激光后输出两路模拟电压信号，PSD输出的两路电压信号经由A/D转换电路(4)进行A/D转换后将数字信号输出。
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