[发明专利]一种晶元倒角机及其晶元加工方法

摘要

本发明公开了一种晶元倒角机，晶元倒角机包括机架、数据处理系统和用于对晶元加工的数控装置；数控装置包括倒角工作端部；数据处理系统包括数据输入单元，数据处理单元和数据输出单元；数据输出单元与数控装置连接，用于向数控装置输入数据；数控装置用于控制倒角工作端部对晶元进行倒角。晶元制加工方法如下：通过在数据处理系统实现晶元信息录入，经过数据处理，输出至数控装置命令接收端，执行光学自动寻找晶元，使工作端部对焦于晶元边沿，通过工作端部对晶元进行圆周加工至倒角结束，重载晶元程序，进行下一个晶元加工，至完成本次工序后退出；存储晶元数据，备下次调用。本发明提供的一种晶元倒角机及其晶元加工方法加工精度高，成品率高。

主权项

一种晶元倒角机，其特征在于：所述晶元倒角机包括机架、数据处理系统和用于对晶元加工的数控装置；所述数控装置包括倒角工作端部；所述数据处理系统包括数据输入单元，数据处理单元和数据输出单元；所述数据输出单元与所述数控装置连接，用于向所述数控装置输入数据；所述数控装置用于控制所述倒角工作端部对晶元进行倒角。