[发明专利]一种晶体硅铸锭炉压力控制系统及方法有效
| 申请号： | 201110346516.8 | 申请日： | 2011-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN102337583A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 戴煜;羊建高;谭兴龙 | 申请（专利权）人： | 湖南顶立科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 410118 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种晶体硅铸锭炉压力控制系统及方法，所述系统包括：铸锭炉炉体；与所述炉体相连的充气链路和排气链路；与所述充气链路相连的第一控制器以及与所述排气链路相连的第二控制器，用于接收炉体的压力信息，根据所述压力信息，所述第一控制器通过控制充气链路的充气速度和/或所述第二控制器通过控制排气链路的排气速度，进而维持炉内压力稳定；与所述炉体相连的第一压力传感器，用于收集铸锭炉内的压力信息，并将所述信息提供给所述第一控制器和第二控制器；其中，所述充气链路包括：主充气通道、旁充气通道和供气通道；所述排气链路包括：主抽真空通道、预抽真空通道和维持真空通道。可以实现炉内压力的稳定控制，保障产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 铸锭 压力 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
一种晶体硅铸锭炉压力控制系统，其特征在于，所述系统包括：铸锭炉炉体；与所述炉体相连的充气链路和排气链路；与所述充气链路相连的第一控制器以及与所述排气链路相连的第二控制器，用于接收炉体的压力信息，根据所述压力信息，所述第一控制器通过控制充气链路的充气速度和/或所述第二控制器通过控制排气链路的排气速度，进而维持炉内压力稳定；与所述炉体相连的第一压力传感器，用于收集铸锭炉内的压力信息，并将所述信息提供给所述第一控制器和第二控制器；其中，所述充气链路包括：主充气通道、旁充气通道和供气通道；所述排气链路包括：主抽真空通道、预抽真空通道和维持真空通道。
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