[发明专利]高体积分数的铝碳化硅复合材料反射镜的制备方法有效

专利信息
申请号: 201110342544.2 申请日: 2011-11-03
公开(公告)号: CN102508327A 公开(公告)日: 2012-06-20
发明(设计)人: 舒阳会;刘韵妍;万绍平;胡娟;海春英;王长青;张晓武;宋军;苏蓉;刘金峰;何芳;胡盛青;李彬;谭春林 申请(专利权)人: 湖南航天诚远精密机械有限公司
主分类号: G02B5/08 分类号: G02B5/08;C22C21/00;C22C1/10;C22F1/04;C23C18/32
代理公司: 长沙星耀专利事务所 43205 代理人: 赵静华
地址: 410205 湖南省长*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 高体积分数的铝碳化硅复合材料反射镜的制备方法。包括(1)用体积分数为70%的铝碳化硅复合材料制备反射镜镜坯;(2)在平面磨床用180目金刚石砂轮粗磨;(3)镜坯的第一次热处理,(4)镜坯的精磨:在平面磨床用2000目金刚石砂轮精磨镜坯的基准面和另一面;(5)进行稳定化处理;(6)镜坯的再研磨:(7)镜坯的化学镀镍磷合金,(8)第二次热处理,在温度350±20℃保温60分钟,随炉冷却;(9)光学研磨到Ra0.012μm。本发明制备的反射镜反射率达97%,反射镜面无光圈;热膨胀系数小于7.5×10-6/k,热导率为180W/m.K。
搜索关键词: 体积 分数 碳化硅 复合材料 反射 制备 方法
【主权项】:
高体积分数的铝碳化硅复合材料反射镜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)用体积分数为70%的铝碳化硅复合材料制备反射镜镜坯;(2)镜坯的粗磨:在平面磨床用180目金刚石砂轮粗磨;(3)镜坯的第一次热处理,在温度为300~350℃保温60分钟,随炉冷却;(4)镜坯的精磨:在平面磨床用2000目金刚石砂轮精磨镜坯的基准面和另一面;(5)镜坯的稳定化处理:①将镜坯放入加热炉内,在150~250℃,保温3~5小时;②快速将镜坯取出放入保温桶中,加入‑180~220℃液氮,并高出镜坯顶部25~40mm,保温1~3小时;③取出镜坯再放入加热炉内,在150~250℃,保温3~5小时;④按照②步和③步重复操作一次,随炉冷却;(6)镜坯的再研磨:用研磨机和0.5~1μm的Al2O3磨料对镜坯进行研磨,使平面度达到0.008~0.01 mm,表面粗糙度达到Ra0.02μm;(7)镜坯的化学镀镍磷合金,控制PH为3.5~4.0,施镀温度为80~85℃,镀速为3.5~5.0μm/hr;达到镀层100~120μm;(8)第二次热处理,在温度350±20℃保温60分钟,随炉冷却;(9)光学研磨:采用研磨机和0.3~0.5μm的Al2O3磨料对反射镜镀层进行研磨,达到Ra0.012μm。
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