[发明专利]MEMS角速度传感器的温度稳定性能保障的分段方式有源恒温控制装置及方法无效
| 申请号： | 201110333239.7 | 申请日： | 2011-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN103063858A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 郭松 | 申请（专利权）人： | 郭松 |
| 主分类号： | G01P3/00 | 分类号： | G01P3/00;G05D23/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214192 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及用MEMS角速度芯片内的分段方式有源恒温控制方法来控制MEMS角速度传感器内的温度，使其保持稳定的温度状态，并且工作在温度变化速度被限制在一定的温度变化速度值之内，从而改善MENS角速度传感器的在不同的温度环境使用时的温度特性，保障MEMS角速度信号输出精度的方法及装置。 | ||
| 搜索关键词： | mems 角速度 传感器 温度 稳定 性能 保障 分段 方式 有源 恒温 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
MEMS角速度传感器的放置感应角速度感应微小机械的密闭空间的分段方式温度恒定的控制方法。是同时监视放置感应角加速度感应微小机械的密闭空间内及MEMS角速度传感器外的环境温度，同时参考MEMS应用的环境状态不同时间段的温度值，并且，根据放置角加速度感应微小机械的密闭空间内及MEMS角速度传感器外的环境温度的温差，内外温度的变化速度及内外传热的量的大小，对放置角加速度感应微小机械的密闭空间加热进行分阶段式有源控制从而控制其温度，使感应角速度的微小机械保持其工作温度分阶段式的恒定的状态，并且在所设定的不同的温度状态向另一个温度状态移动时，器温度的变化速度保持在一定的设定值范围之内的方法。
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