[发明专利]热解氮化硼板材的制备方法及该方法所用的气相沉积炉

摘要

一种热解氮化硼板材的制备方法及该方法所用的气相沉积炉，属于特种陶瓷材料制备技术领域。该方法采用具有进气机构并且在炉内设置有旋转的模具的气相沉积炉，原料气体为N2、NH3和BCl3的混合气体，其中：N2、NH3和BCl3气体的mol比为30-10∶10-1∶8-0.5，气相沉积炉的炉温为1700～2000℃，保温时间为14-26h，所述的旋转模具在所述的气相沉积炉内呈倾斜设置。优点：由于将旋转的模具在气沉积炉内呈斜设置，从而能使原料气体沿倾斜角度向上偏流，在流动过程中将沟槽填平，使得到的热解氮化硼板材表面平整，有利于显著减小残余应力和提高合格率；提供的沉积炉结构简单，能保障热解氮化硼板材的所述技术效果的全面体现。

主权项

一种热解氮化硼板材的制备方法，该方法采用具有进气机构并且在炉内设置有旋转的模具的气相沉积炉，原料气体为N2、NH3和BCl3的混合气体，其中：N2、NH3和BCl3气体的mol比为30‑10∶10‑1∶8‑0.5，气相沉积炉的炉温为1700～2000℃，保温时间为14‑26h，其特征在于所述的旋转模具在所述的气相沉积炉内呈倾斜设置。