[发明专利]硅片表面隐裂的检测方法有效
| 申请号： | 201110322831.7 | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102507440A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 俞振明;高瑶;王欣;杨乐 | 申请（专利权）人： | 高佳太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/08 | 分类号： | G01N19/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 陈慧珍 |
| 地址： | 214174 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种硅片表面隐裂的检测方法，包括准备部分和操作部分；准备部分：包括选用蒸汽发生装置，在蒸汽发生装置上设置细长的蒸汽喷出管，并设置可以用来调节蒸汽量的按钮，在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布，使得颗粒较大的水滴能被过滤掉，蒸汽穿透纱布；操作部分：控制开关按钮，同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动，使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面，观察硅片表面现象，然后将硅片翻转，手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动，并观察硅片表面现象。该方法根据吹气检测的特性，采用常见的蒸汽发生装置替代口吹气进行检测，具有方法简单、易于实现的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 表面 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片表面隐裂的检测方法，其特征在于，包括准备部分和操作部分；所述准备部分：包括选用蒸汽发生装置，在蒸汽发生装置上设置细长的蒸汽喷出管，并设置可以用来调节蒸汽量的按钮，在蒸汽喷出管的喷嘴处包扎若干层精细纱布，使得颗粒较大的水滴能被过滤掉，蒸汽穿透纱布；所述操作部分：控制开关按钮，同时手持蒸汽喷出管在待检测的硅片组上方平行移动，使得蒸汽均匀喷洒在硅片表面，观察硅片表面现象，然后将硅片翻转，手持蒸汽喷出管在硅片组上方平行移动，观察硅片表面现象。
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