[发明专利]单晶硅边皮的清洗方法有效
申请号: | 201110320960.2 | 申请日: | 2011-10-20 |
公开(公告)号: | CN102380490A | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
发明(设计)人: | 俞振明;王欣;杨乐 | 申请(专利权)人: | 高佳太阳能股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 陈慧珍 |
地址: | 214174 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种单晶硅边皮的清洗方法,包括如下步骤:1)使用有机溶剂相似相溶擦拭硅体表面的油性成分,2)进行超声清洗前,在清洗溶液中添加普通洗涤剂,用以去除颗粒粉尘,并进一步去除油性成分,3)进行多槽超声清洗,并通过电导率测试仪检测使用后的水溶液的电导率来判断是否洗净,要求电导率小于100μS/cm。针对表面积不大且形状规则的硅体,特别是单晶硅边皮,所提出该清洗方法,克服了传统清洗方法的浪费,避免了大量使用酸性溶液,减少了大量废酸废气的产生,并同时减少了硅体自身的损耗,通过该方法清洗的产品,经拉晶试验后效果与传统酸洗效果相当。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅 清洗 方法 | ||
【主权项】:
一种单晶硅边皮的清洗方法,其特征在于,包括如下步骤:1)使用有机溶剂相似相溶擦拭硅体表面的油性成分,2)进行超声清洗前,在清洗溶液中添加普通洗涤剂,用以去除颗粒粉尘,并进一步去除油性成分,3)进行多槽超声清洗,并通过电导率测试仪检测使用后的水溶液的电导率来判断是否洗净,要求电导率小于100μS/cm。
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