[发明专利]抛光液输送装置无效
| 申请号： | 201110306986.1 | 申请日： | 2011-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN102335877A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 路新春;潘燕;许振杰;何永勇 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液输送装置，所述抛光液输送装置包括：抛光液储存容器；抛光液输送管，抛光液输送管的进液端与抛光液储存容器相连；开关阀，开关阀设在抛光液输送管上用于接通和断开抛光液输送管；输送泵，输送泵设在抛光液输送管上以将抛光液储存容器内的抛光液从抛光液输送管的出液端排出，其中输送泵位于抛光液储存容器和开关阀之间；和减压阀，减压阀设在抛光液输送管上且位于输送泵和开关阀之间用于稳定抛光液的压力。通过利用抛光液输送装置输送抛光液，可以使输出的抛光液的压力和流量非常稳定，即可以使输出的抛光液均匀地分布在抛光垫上，从而大大地提高抛光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 输送 装置 | ||
【主权项】：
一种抛光液输送装置，其特征在于，包括：抛光液储存容器；抛光液输送管，所述抛光液输送管的进液端与所述抛光液储存容器相连；开关阀，所述开关阀设在所述抛光液输送管上用于接通和断开所述抛光液输送管；输送泵，所述输送泵设在所述抛光液输送管上以将所述抛光液储存容器内的抛光液从所述抛光液输送管的出液端排出，其中所述输送泵位于所述抛光液储存容器和所述开关阀之间；和减压阀，所述减压阀设在所述抛光液输送管上且位于所述输送泵和所述开关阀之间用于稳定抛光液的压力。
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