[发明专利]抛光液输送装置

权利要求书

1.一种抛光液输送装置，其特征在于，包括：

抛光液储存容器；

抛光液输送管，所述抛光液输送管的进液端与所述抛光液储存容器相连；

开关阀，所述开关阀设在所述抛光液输送管上用于接通和断开所述抛光液输送管；

输送泵，所述输送泵设在所述抛光液输送管上以将所述抛光液储存容器内的抛光液从所述抛光液输送管的出液端排出，其中所述输送泵位于所述抛光液储存容器和所述开关阀之间；和

减压阀，所述减压阀设在所述抛光液输送管上且位于所述输送泵和所述开关阀之间用于稳定抛光液的压力。

2.根据权利要求1所述的抛光液输送装置，其特征在于，还包括调节阀，所述调节阀与所述减压阀相连用于调节抛光液在所述减压阀的进口和出口之间的压力降。

3.根据权利要求2所述的抛光液输送装置，其特征在于，所述调节阀为气体调节阀。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的抛光液输送装置，其特征在于，还包括止回阀，所述止回阀设在所述抛光液输送管上且位于所述减压阀和所述开关阀之间。

5.根据权利要求4所述的抛光液输送装置，其特征在于，所述止回阀邻近所述开关阀。

6.根据权利要求4所述的抛光液输送装置，其特征在于，所述减压阀、所述调节阀、所述止回阀和所述开关阀均为多个，所述多个减压阀、所述多个调节阀、所述多个止回阀和所述多个开关阀构成多个抛光液输送支路且每个所述抛光液输送支路包括一个所述减压阀、一个所述调节阀、一个所述止回阀和一个所述开关阀，其中所述多个抛光液输送支路并联且每个所述抛光液输送支路均与所述输送泵串联。

7.根据权利要求1所述的抛光液输送装置，其特征在于，还包括抛光液过滤器，所述抛光液过滤器连接在所述抛光液输送管上且位于所述输送泵和所述减压阀之间。

8.根据权利要求1所述的抛光液输送装置，其特征在于，还包括抛光液回流管，所述抛光液回流管的一端与所述输送泵的出口相连且所述抛光液回流管的另一端与所述抛光液储存容器相连。

9.根据权利要求1所述的抛光液输送装置，其特征在于，还包括压力检测元件，所述压力检测元件设在所述抛光液输送管上且位于所述减压阀和所述开关阀之间。

10.根据权利要求1所述的抛光液输送装置，其特征在于，所述输送泵为气动隔膜泵。