[发明专利]狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置有效
| 申请号： | 201110306371.9 | 申请日： | 2011-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN102683144A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 井内裕;土肥正二郎 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/32;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李雪春;武玉琴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以产生热变形。狭缝电极(1)包括：电极框体(2)，具有开口部(3)；以及多个电极单元(U)，能装拆地安装在电极框体(2)上。各电极单元(U)包括：多根电极棒(5)，并列设置在开口部(3)内；以及一组电极棒支承构件(6)，隔着开口部(3)支承各电极棒(5)的长度方向的端部。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 电极 具有 带电 粒子束 发生 装置 | ||
【主权项】：
一种狭缝电极，包括：电极框体，具有开口部；以及多个电极单元，能装拆地安装在所述电极框体上，所述狭缝电极的特征在于，各电极单元包括：多根电极棒，并列设置在所述开口部内；以及一组电极棒支承构件，隔着所述开口部支承各电极棒的长度方向的端部。
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