[发明专利]用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置无效
| 申请号： | 201110294872.X | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102392220A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 曹瑞林 | 申请（专利权）人： | 四川虹欧显示器件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;H01J9/20 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;余刚 |
| 地址： | 621000 四川省绵阳市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置。该用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置包括：第一蒸镀材料盛放部，处于第一位置；第二蒸镀材料盛放部，处于第二位置，第二蒸镀材料盛放部与第一蒸镀材料盛放部的位置能够互换；电子枪，设置在第一位置的上方，用于发射电子束溅射蒸镀材料；以及定向遮挡板，其上设置有定向通孔，可移动地设置在电子枪与待蒸镀的上基板之间。应用本发明的技术方案，由于定向遮挡板的设计，可以实现在同一蒸镀装置上能够蒸镀两层不同面积的保护层，而且保护层的位置可以精确设置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 等离子 显示屏 保护层 装置 | ||
【主权项】：
一种用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置，其特征在于，包括：第一蒸镀材料盛放部(11)，处于第一位置；第二蒸镀材料盛放部(12)，处于第二位置，所述第二蒸镀材料盛放部(12)与所述第一蒸镀材料盛放部(11)的位置能够互换；电子枪(3)，设置在所述第一位置的上方，用于发射电子束溅射蒸镀材料；以及定向遮挡板(4)，其上设置有定向通孔，可移动地设置在所述电子枪(3)与待蒸镀的上基板(2)之间。
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