[发明专利]一种硅片多线切割断线检测的方法

摘要

本发明涉及一种硅片多线切割断线检测的方法，利用断线检测控制系统进行检测，断线检测控制系统包括断线检测控制单元、放线信号端子、收线信号端子和检测杆。断线检测控制单元由主控计算机和数字量I/O采集卡构成。主控计算机通过数字量I/O采集卡的相应端口分别与放线信号端子、收线信号端子和检测杆连接。检测步骤为：向放线信号端子施加信号电压；检测收线端子是否收到信号电压，没有收到信号电压，放线轮停止旋转并且报警。检测检测杆是否产生信号电压，产生信号电压，放线轮停止旋转并且报警。本发明实现了张力区断线检测和切割区断线检测相结合和断线检测计算机程序化控制，提高了断线的可靠性、及时性和准确性。

主权项

一种硅片多线切割断线检测的方法，利用断线检测控制系统进行检测，所述断线检测控制系统包括断线检测控制单元（11）、放线信号端子（3）、收线信号端子（4）和检测杆（8）；所述断线检测控制单元由主控计算机和数字量I/O采集卡构成；放线信号端子（3）位于放线轮（1），收线信号端子（4）位于收线轮（2），检测杆（8）分别位于两个轴辊（7）的两侧；主控计算机通过数字量I/O采集卡的相应端口分别与放线信号端子（3）、收线信号端子（4）和检测杆（8）连接，检测步骤如下：⑴向放线信号端子施加信号电压；⑵检测收线信号端子是否收到信号电压，如果收线信号端子没有收到信号电压，则放线轮停止旋转并且报警； ⑶如果收到信号电压则返回步骤⑴；⑷检测检测杆是否产生信号电压，如果产生信号电压，则放线轮停止旋转并且报警；⑸如果检测杆没有产生信号电压，则返回步骤⑴。