[发明专利]探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法无效
| 申请号： | 201110282224.2 | 申请日： | 2011-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN103008265A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 廖惇材;洪嘉宏;张书祥;陈建羽 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B13/00;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种探针清洁装置，其是设置在一发光二极管(LED，light emitting diode)点测设备上以执行在线(on-line)探针清洁作业，该点测设备可包含设有探针的一探针单元、以及能够在水平方向与垂直方向上移动的一移动机构，该探针清洁装置包含：一连接部，与该移动机构连接，并随着该移动机构移动；一清洁海棉，由三聚氰胺所制造，并用以清洁该探针单元的探针；以及一容器，设置在该连接部上，并用以容纳该清洁海棉，其中当该清洁海棉容纳在该容器内时，该清洁海棉是凸出该容器的上表面一距离。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 清洁 装置 以及 使用 在线 方法 | ||
【主权项】：
一种探针清洁装置，其特征在于，其是设置在一发光二极管点测设备上以执行在线探针清洁作业，该点测设备包含设有探针的一探针单元、以及能够在水平方向与垂直方向上移动的一移动机构，该探针清洁装置包含：一连接部，与该移动机构连接，并随着该移动机构移动；一清洁海棉，由三聚氰胺所制造，并用以清洁该探针单元的探针；及一容器，设置在该连接部上，并用以容纳该清洁海棉，其中当该清洁海棉容纳在该容器内时，该清洁海棉是凸出该容器的上表面一距离。
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