[发明专利]使用炉管进行工艺加工的方法

摘要

本发明公开了一种使用炉管进行工艺加工的方法，首先于主反应步骤设定依次递增的温度，确保晶舟的各个位置硅片的成膜膜厚均匀一致；其次还可以新增补偿反应步骤，所述补偿反应采用的气体只是主反应中的保护性气体；所述补偿反应设定与主反应相反方向的依次递增的温度；所述补偿反应的时间与主反应相同；从而补足晶舟的各位个置的热效应差异，同时确保成膜均匀性一致。

主权项

一种使用炉管进行工艺加工的方法，所述炉管指炉体设备的工艺腔，由内到外依次包括晶舟、内管、外管、加热设备，其特征是，包括如下步骤：第1步，硅片传输系统在晶舟上放置硅片；第2步，硅片传输系统让晶舟进入内管；第3步，提升内管内的温度，和/或将内管内抽成真空；第4步，进行主要反应，设定内管内的温度由上到下或由下到上依次递增，递增方向与内管内的反应气体浓度降低的方向相同；第5步，降低内管内的温度，和/或破除内管内的真空环境；第6步，硅片传输系统让晶舟移出内管；第7步，硅片传输系统将硅片从晶舟上取出。